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Sistemas de suministro de energía igus® en la sala limpia de la empresa Brooks

Componentes para cada sala limpia que mejoran

la tecnología y reducen costos

Perfil:

  • Industria: sala limpia/ semiconductor
  • Aplicación: Equipo de procesamiento de obleas de 300 mm en la fabricación
  • de semiconductores. Producto: cremallera e-chian®
  • Requisitos: Aire limpio en la producción de su Fixload.
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Brooks - Fixload

Problema

La empresa Brooks necesita aire especialmente limpio en la producción de su Fixload. Esto se debe al área de aplicación muy sensible de la interfaz de carga para equipos de procesamiento de obleas de 300 mm en la fabricación de semiconductores

.

Como las obleas a procesar están expuestas al ambiente mientras se cargan, la capacidad de sala limpia del sistema de suministro de energía usado es, entre otros, muy importante aquí.

Solución

Las pruebas realizadas por Brooks han demostrado que el desgaste del sistema de suministro de energía igus® no se determinó ni siquiera en la prueba a largo plazo. Una cadena electrónica Zipper® se utiliza en la posición de instalación colgante. A una distancia de recorrido de 290 mm, se alcanza un número de 50-60 ciclos por hora principalmente en la operación de tres turnos

.

Otra ventaja:
El sistema de cremallera patentado permite un llenado con cables de energía a la velocidad del rayo y protección adicional. Esto aumenta la seguridad de operación y los tiempos de retención.

Ir a la página del producto Zipper e-chain®

Productos seleccionados para la industria de salas blancas

e-skin plano

Sistema de guía de cable plano

  • Adecuado para sala blanca IPA ISO Clase 1
  • Diseño modular y compacto
  • Los cables se pueden reemplazar en minutos
  • Opcionalmente con estructura trenzada CFCLEAN coordinada

para una alta confiabilidad

e-skin plano
e-skin® suave

Tubos corrugados de dos piezas

  • Adecuado para salas blancas según IPA ISO Clase 1
  • Dos piezas, que consisten en carcasas superior e inferior
  • Montaje rápido debido a la función de apertura " cremallera "
  • Para aplicaciones rápidas,

cortas y sin soporte

tubos corrugados e-skin
e-chain E6

e-chain para alta dinámica

  • Sala Limpia IPA ISO Clase 1
  • Muy silencioso: 32dB (A) a 1m/s
  • Barras transversales abribles desde ambos lados
  • Interior liso y
  • amigable para cables Libera pretensión girando el eslabón interior
e-chain E6.1

Ejemplos de aplicación para la sala limpia

e-skin flat en uso en un sistema lineal con cojinetes de aire

Industria: Producción de chips/Semiconductor

e-skin plano en uso en un sistema lineal con cojinetes de aire

Resultado: Al como una capa de 4 pliegue junto con los cables PVC & TPE de igus® asegura el suministro de energía confiable de un sistema lineal de cojinetes de

aire.

  • Más información
    • Semiconductores de ejemplo de aplicación de sala limpia

    Industria: Fabricación de semiconductores

    sistemas e-chain® en la fabricación de semiconductores

    Resultado: El sistema patentado zipper e-chain® cumple con la distancia de recorrido requerida de aproximadamente 290 mm, se logran números de ciclo de 50-60 ciclos por hora, generalmente en

    operación de tres turnos.

  • Más información
    • Semiconductores de ejemplo de aplicación de sala limpia

    Industria: Producción de chips/

    Manejo de obleas

    semiconductoras Resultado: Con e-chain® - E6, el suministro de energía para el manejo de obleas en la producción de chips que implica tasas de aceleración de hasta 4m/s2 y velocidades de hasta 6m/s no es un problema.

  • Más información
    • Uso en una unidad de laboratorio para manejo de líquidos.

    Industria: Tecnología médica

    drylin® TR tuercas de hilo de alta hélice para equipos

    de laboratorio Resultado: tuercas de hilo de alta hélice drylin® TR se utilizaron en equipos de laboratorio para manejo de fluidos. La ventaja para la sala limpia es su bajo coeficiente de fricción, mayor eficiencia y no es necesaria ninguna lubricación, lo que evita la contaminación.

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    Victor Alcantara
    Víctor Alcántara

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